ICP

分辨率是指色散系统分离两个窄峰的能力，一般定义为检测的发射谱线的半高宽。高分辨率有许多的优势，可将多谱线基体（U、W、Co、Fe等）中的光谱干扰最小化；测量峰强时降低背景可改善检测限，检测限与 SBR 成反比，从而提高信背比（SBR）。

由于多普勒效应以及斯塔克谱线磁裂效应，实验结果依赖于谱线的物理宽度；而且光学系统（光栅的刻线密度、焦距、衍射级）和带通（产品使用的最宽狭缝宽度乘以线性色散）也依赖于谱线的仪器宽度。虽然像差会降低分辨率，但是如果光学设计及组装非常小心，则可以将其影响降到最低。

带通通常是分辨率的限制参数，必须最优化。优化可通过使用高刻线密度的光栅、高衍射级次、更长的焦距或最好的狭缝来实现。最优化需与大的波长范围覆盖（高刻线密度和高衍射级次会限制波长范围）和弱信号的检测（最好的狭缝意味着较少的光进入光学系统于是降低了灵敏度）相权衡。

对于固态探测器，每个像素都有给定的带通。分辨是由几个像素的带通混合组成，这会降低分辨率。